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다층 RIE electrode를 이용한 아크릴의 O₂ / N₂ 플라즈마 건식 식각 = O₂ / N₂ plasma etching of acrylic in a multi-layers electrode RIE system
표제/저자사항
다층 RIE electrode를 이용한 아크릴의 O₂ / N₂ 플라즈마 건식 식각 = O₂ / N₂ plasma etching of acrylic in a multi-layers electrode RIE system / 김재권, 김주형, 박연현, 주영우, 백인규, 조관식, 송한정, 이제원
형태사항
p. 642-647 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 17권 12호(2007년 12월), p. 642-647 17:12<642 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김재권, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 김주형, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 박연현, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 주영우, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 송한정, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소 E-MAIL: jwlee@hotmail.com
저자: 김재권, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 김주형, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 박연현, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 주영우, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 송한정, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소 E-MAIL: jwlee@hotmail.com
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
