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반응성 마그네트론 프로세서의 방전특성 및 질화티타늄 박막형성에 관한 연구 = Study on discharge characteristics and TiN thin film by magnetron process
표제/저자사항
반응성 마그네트론 프로세서의 방전특성 및 질화티타늄 박막형성에 관한 연구 = Study on discharge characteristics and TiN thin film by magnetron process / 金光和, 趙淵玉, 郭永淳, 曺井守, 朴正后
형태사항
p. 1280-1289 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 40卷 12號(1991년 12월), p. 1280-1289 40:12<1280 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 김광화, 정회원, 전기연구소 고전압연구실 선임연구원
저자: 조연옥, 정회원, 전기연구소 고전압연구실 실장, 공박
저자: 곽영순, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
저자: 조정수, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
저자: 박정후, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 부교수, 공박
저자: 김광화, 정회원, 전기연구소 고전압연구실 선임연구원
저자: 조연옥, 정회원, 전기연구소 고전압연구실 실장, 공박
저자: 곽영순, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
저자: 조정수, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
저자: 박정후, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 부교수, 공박
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
