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FTS와 CPMS 스퍼터 시스템의 방전특성 연구 = (A)study on the discharge characteristics of both FTS and CPMS sputtering systems
표제/저자사항
FTS와 CPMS 스퍼터 시스템의 방전특성 연구 = (A)study on the discharge characteristics of both FTS and CPMS sputtering systems / 郭東周, 成烈汶, 朴正后
형태사항
p. 806-811 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 44卷 6號(1995년 6월), p. 806-811 44:6<806 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 곽동주, 정회원, 경성대 공대 전기공학과 조교수, 공박
저자: 성열문, 정회원, 부산대 대학원 전기공학과 박사과정
저자: 박정후, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
저자: 곽동주, 정회원, 경성대 공대 전기공학과 조교수, 공박
저자: 성열문, 정회원, 부산대 대학원 전기공학과 박사과정
저자: 박정후, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
