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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 차폐용 NbTi박막의 우선방향에 미치는 스퍼터링 압력의 영향 = Effects of sputtering pressure on preferred orientation of shielding NbTi thin film by RF magnetron sputtering
표제/저자사항
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 차폐용 NbTi박막의 우선방향에 미치는 스퍼터링 압력의 영향 = Effects of sputtering pressure on preferred orientation of shielding NbTi thin film by RF magnetron sputtering / 金峯瑞, 禹炳哲, 邊雨奉, 李熙雄
형태사항
p. 1317-1322 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 44卷 10號(1995년 10월), p. 1317-1322 44:10<1317 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 김봉서, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 우병철, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 변우봉, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 이희웅, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀장
저자: 김봉서, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 우병철, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 변우봉, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀 선임연구원
저자: 이희웅, 정회원, 한국전기연구소 도전재료연구팀장
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
