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An accelerometer with polysilicon piezoresisters bulk-micromachined using a p+ silicon etch-stop layer = p+ 실리콘 식각정지층을 이용하여 몸체가공한 폴리실리콘 압저항 가속도계
표제/저자사항
An accelerometer with polysilicon piezoresisters bulk-micromachined using a p+ silicon etch-stop layer = p+ 실리콘 식각정지층을 이용하여 몸체가공한 폴리실리콘 압저항 가속도계 / Eui-hyeok Yang, Sang-sik Yang
형태사항
p. 1509-1511 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 45卷 10號(1996년 10월), p. 1509-1511 45:10<1509 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: Eui-hyeok Yang, 정회원, 일본동경대 생산기술연구소 연구원, 공박
저자: Sang-sik Yang, 정회원, 아주대 공대 전기전자공학부 부교수, 공박
저자: Eui-hyeok Yang, 정회원, 일본동경대 생산기술연구소 연구원, 공박
저자: Sang-sik Yang, 정회원, 아주대 공대 전기전자공학부 부교수, 공박
출처
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001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
