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저압화학기상성장법으로 제작된 실리콘 옥시나이트라이드의 pH 농도감지특성 조절에 관한 연구 = (A)study on pH sensitivity controlling of silicon oxinitrides fabricated by low pressure chemical vapor deposition
표제/저자사항
저압화학기상성장법으로 제작된 실리콘 옥시나이트라이드의 pH 농도감지특성 조절에 관한 연구 = (A)study on pH sensitivity controlling of silicon oxinitrides fabricated by low pressure chemical vapor deposition / 申白均
형태사항
p. 364-368 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 46卷 3號(1997년 3월), p. 364-368 46:3<364 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 신백균, 정회원, Univ. of Erlangen-Nuernberg 전기공학부 박사과정, Fraunhofer Institute of Intergrated Circuits 객원연구원
저자: 신백균, 정회원, Univ. of Erlangen-Nuernberg 전기공학부 박사과정, Fraunhofer Institute of Intergrated Circuits 객원연구원
출처
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001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
