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실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험 = Fabrication and testing of a micropump using a silicon diaphragm
표제/저자사항 실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험 = Fabrication and testing of a micropump using a silicon diaphragm / 金永洙, 梁翔植
형태사항 p. 1135-1140 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 46卷 7號(1997년 7월), p. 1135-1140 46:7<1135 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 김영수, 준회원, 아주대 대학원 제어계측공학과 석사졸업
저자: 양상식, 정회원, 아주대 전기전자공학부 부교수, 공박
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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