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(110) 실리콘의 모퉁이 보상 및 이를 이용한 가속도계 감지부 구조물의 제작 = Corner compensation of (110) silicon and its application for the fabrication of accelerometer sensing structures
표제/저자사항
(110) 실리콘의 모퉁이 보상 및 이를 이용한 가속도계 감지부 구조물의 제작 = Corner compensation of (110) silicon and its application for the fabrication of accelerometer sensing structures / 金炳旭, 韓아름, 李尙禹, 趙東日, 李昊駿, 曺光賢
형태사항
p. 1546-1556 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 46卷 10號(1997년 10월), p. 1546-1556 46:10<1546 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 김병욱, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 석사과정
저자: 한아름, 정회원, 미국 신시내티대 전기공학과 석사과정
저자: 이상우, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 박사과정 수료
저자: 조동일, 정회원, 서울대 공대 전기공학부 부교수, 공박
저자: 이호준, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 선임연구원, 공박
저자: 조광현, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 책임연구원, 공박
저자: 김병욱, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 석사과정
저자: 한아름, 정회원, 미국 신시내티대 전기공학과 석사과정
저자: 이상우, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 박사과정 수료
저자: 조동일, 정회원, 서울대 공대 전기공학부 부교수, 공박
저자: 이호준, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 선임연구원, 공박
저자: 조광현, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 책임연구원, 공박
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
