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국부 방전 효과를 이용한 고휘도 집속 이온빔용 유도결합 플라즈마 이온원의 개발 = Development of inductively coupled plasma ion source for high brightness focused ion beam using local discharge effect
표제/저자사항
국부 방전 효과를 이용한 고휘도 집속 이온빔용 유도결합 플라즈마 이온원의 개발 = Development of inductively coupled plasma ion source for high brightness focused ion beam using local discharge effect / 박용신, 김윤재, 정형설, 황용석
형태사항
p. 17-21 ; 26 cm
주기사항
저자: 박용신, 서울대학교 원자핵공학과 E-MAIL: bluer@snu.ac.kr
저자: 김윤재, 삼성전자(주) 반도체 총괄
저자: 정형설, 서울대학교 원자핵공학과
저자: 황용석, 서울대학교 원자핵공학과
저자: 김윤재, 삼성전자(주) 반도체 총괄
저자: 정형설, 서울대학교 원자핵공학과
저자: 황용석, 서울대학교 원자핵공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
