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초정밀 평면 X-Y 스테이지의 시뮬레이션 및 제어성능 평가 = Simulation and control performance evaluation of ultra-precision single plane X-Y stage
표제/저자사항 초정밀 평면 X-Y 스테이지의 시뮬레이션 및 제어성능 평가 = Simulation and control performance evaluation of ultra-precision single plane X-Y stage / 곽이구, 김재열, 한재호, 김영석, 안재신, 노기웅
형태사항 p. 422-428 ; 26 cm
주기사항 저자: 곽이구, 조선대학교 대학원
저자: 김재열, 조선대학교 기계공학부
저자: 한재호, 송원대학 자동차과
저자: 김영석, 조선대학교 기계공학부
저자: 안재신, 조선대학교 대학원
저자: 노기웅, 화천기공
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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