기사
리니어모터를 이용한 고속 저중심 스테이지의 개발과 정밀도 향상 = Development for scanning type stage driven by linear motors
표제/저자사항 리니어모터를 이용한 고속 저중심 스테이지의 개발과 정밀도 향상 = Development for scanning type stage driven by linear motors / 송창규, 김정식, 김경호, 박천홍
형태사항 p. 445-448 ; 26 cm
주기사항 저자: 송창규, 한국기계연구원 공작기계그룹 E-MAIL: song@kimm.re.kr
저자: 김정식, 충남대 대학원 기계공학부
저자: 김경호, 한국과학기술원 기계공학과
저자: 박천홍, 학국기계연구원 공작기계그룹
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로