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진공용 나노스테이지 개발 = Development of nano stage for ultra high vacuum
표제/저자사항 진공용 나노스테이지 개발 = Development of nano stage for ultra high vacuum / 홍원표, 강은구, 이석우, 최헌종
형태사항 p. 472-477 ; 26 cm
주기사항 저자: 홍원표, 한국생산기술연구원 E-MAIL: wonpyodr@kitech.re.kr
저자: 강은구, 한국생산기술연구원 나노가공팀
저자: 이석우, 한국생산기술연구원 나노가공팀
저자: 최헌종, 한국생산기술연구원 나노가공팀
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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