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Development and charactristic study of high brightness ion source using inductively coupled plasma for focused ion beam = 유도결합 플라즈마를 이용한 집속이온빔용 고휘도 이온원의 개발 및 특성 연구
표제/저자사항 Development and charactristic study of high brightness ion source using inductively coupled plasma for focused ion beam = 유도결합 플라즈마를 이용한 집속이온빔용 고휘도 이온원의 개발 및 특성 연구 / Yoon-jae Kim, Dong-hee Park, Yong-seok Hwang
형태사항 p. 494-499 ; 26 cm
주기사항 저자: Yoon-jae Kim, 서울대학교 원자핵공학과 E-MAIL: kyj0202@snu.ac.kr
저자: Dong-hee Park, 서울대학교 원자핵공학과
저자: Yong-seok Hwang, 서울대학교 원자핵공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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