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대면적 미세형상 공작물 셋업 보정을 위한 3자유도(z-translation, pitch, roll motion) 초정밀 tilt table 설계 = Design of 3DOF(z-translation, pitch, roll motion) precise tilt table for a large surface workpiece with micro features to compensate set-up
표제/저자사항 대면적 미세형상 공작물 셋업 보정을 위한 3자유도(z-translation, pitch, roll motion) 초정밀 tilt table 설계 = Design of 3DOF(z-translation, pitch, roll motion) precise tilt table for a large surface workpiece with micro features to compensate set-up / 김종수, 양민양
형태사항 p. 28-33 ; 26 cm
주기사항 저자: 김종수, 한국과학기술원 기계공학과 E-MAIL: whiteloves@kaist.ac.kr
저자: 양민양, 한국과학기술원 기계공학과 E-MAIL: myyang@kaist.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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