기사
레이저 및 탐침형 나노프로브 융합형 미세 가공 장치 개발 = Development of nanomachining tool based on confocal and scanning probe microscopy fused system
표제/저자사항 레이저 및 탐침형 나노프로브 융합형 미세 가공 장치 개발 = Development of nanomachining tool based on confocal and scanning probe microscopy fused system / 장원석, 김재구, 조성학, 김정용
형태사항 p. 63-68 ; 26 cm
주기사항 저자: 장원석, 한국기계연구원 나노공정장비연구센터 E-MAIL: paul@kimm.ac.kr
저자: 김재구, 한국기계연구원 나노공정장비연구센터
저자: 조성학, 한국기계연구원 나노공정장비연구센터
저자: 김정용, 인천대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로