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차세대 리소그라피 시스템을 위한 2축 나노스테이지의 시뮬레이션 툴 구축 = Development of a simulation tool of a two-axis nano stage for a new generation lithography system
표제/저자사항
차세대 리소그라피 시스템을 위한 2축 나노스테이지의 시뮬레이션 툴 구축 = Development of a simulation tool of a two-axis nano stage for a new generation lithography system / 유건모, 정종철, 정정주, 허건수
형태사항
p. 1541-1548 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 대한기계학회논문집. 대한기계학회. 28권 10호(2004년 10월), p. 1541-1548 28:10<1541 상세보기 ISSN 1226-4873
저자: 유건모, 한양대학교 대학원 정밀기계공학과
저자: 정종철, 한양대학교 대학원 정밀기계공학과
저자: 정정주, 한양대학교 전자전기컴퓨터공학부
저자: 허건수, 회원, 한양대학교 기계공학부 E-MAIL: khuh2@hanyang.ac.kr
저자: 유건모, 한양대학교 대학원 정밀기계공학과
저자: 정종철, 한양대학교 대학원 정밀기계공학과
저자: 정정주, 한양대학교 전자전기컴퓨터공학부
저자: 허건수, 회원, 한양대학교 기계공학부 E-MAIL: khuh2@hanyang.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
