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CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향 = Effects of friction energy on polishing results in CMP process
표제/저자사항
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향 = Effects of friction energy on polishing results in CMP process / 이현섭, 박범영, 김구연, 김형재, 서헌덕, 정해도
형태사항
p. 1807-1812 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 대한기계학회논문집. 대한기계학회. 28권 11호(2004년 11월), p. 1807-1812 28:11<1807 상세보기 ISSN 1226-4873
저자: 이현섭, 회원, 부산대학교 정밀기계공학과 E-MAIL: bestplay@pusan.ac.kr
저자: 박범영, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 김구연, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 김형재, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정해도, 회원, 부산대학교 기계공학부
저자: 이현섭, 회원, 부산대학교 정밀기계공학과 E-MAIL: bestplay@pusan.ac.kr
저자: 박범영, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 김구연, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 김형재, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정해도, 회원, 부산대학교 기계공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
