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CMP시 SiO₂ 슬러리의 마찰 특성과 연마결과에 관한 연구 = (A)study on frictional characteristics and polishing result of SiO₂ slurry in CMP
표제/저자사항
CMP시 SiO₂ 슬러리의 마찰 특성과 연마결과에 관한 연구 = (A)study on frictional characteristics and polishing result of SiO₂ slurry in CMP / 이현섭, 박범영, 서헌덕, 정재우, 정석훈, 정해도
형태사항
p. 983-989 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 대한기계학회논문집. 대한기계학회. 29권 7호(2005년 7월), p. 983-989 29:7<983 상세보기 ISSN 1226-4873
저자: 이현섭, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 박범영, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정재우, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정석훈, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정해도, 회원, 부산대학교 정밀정형 및 금형가공 연구소 E-MAIL: hdjeong@pusan.ac.kr
저자: 이현섭, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 박범영, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정재우, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정석훈, 부산대학교 정밀기계공학과
저자: 정해도, 회원, 부산대학교 정밀정형 및 금형가공 연구소 E-MAIL: hdjeong@pusan.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
