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이온식각공정의 재증착 현상을 이용한 니켈 마이크로 나노 구조물 제작 = Fabrication of nickel nano and microstructures by redeposition phenomena in ion etching process
표제/저자사항
이온식각공정의 재증착 현상을 이용한 니켈 마이크로 나노 구조물 제작 = Fabrication of nickel nano and microstructures by redeposition phenomena in ion etching process / 정필구, 황성진, 이상민, 고종수
형태사항
p. 50-54 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 대한기계학회논문집. 대한기계학회. 31권 1호(2007년 1월), p. 50-54 31:1<50 상세보기 ISSN 1226-4873
저자: 정필구, 부산대학교 기계공학부
저자: 황성진, 부산대학교 기계공학부
저자: 이상민, 부산대학교 미세기계전자시스템협동과정
저자: 고종수, 회원, 부산대학교 기계공학부, 부산대학교 정밀정형및금형가공연구소(ERC/NSDM) E-MAIL: mems@pusan.ac.kr
저자: 정필구, 부산대학교 기계공학부
저자: 황성진, 부산대학교 기계공학부
저자: 이상민, 부산대학교 미세기계전자시스템협동과정
저자: 고종수, 회원, 부산대학교 기계공학부, 부산대학교 정밀정형및금형가공연구소(ERC/NSDM) E-MAIL: mems@pusan.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
