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표제/저자사항 액상에서의 엑시머 레이저 실리콘 미세가공 = Excimer laser micromachining of silicon in liquid phase / 장덕석, 김동식

형태사항 p. 12-18 ; 26 cm

주기사항 수록자료: 한국레이저가공학회지. 한국레이저가공학회. Vol.11 no.1(2008년 3월), p. 12-18 11:1<12 상세보기 ISSN 1229-0963
저자: 장덕석, 포항공과대학교 기계공학과
저자: 김동식, 포항공과대학교 기계공학과

출처 국립중앙도서관 바로가기

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05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)