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Rf magnetron sputtering 방법으로 제조된 B$$a_{1-x}$$< / TEX>S$$r_x$$< / TEX>TiO₃ 박막의 구조적 특성에 대한 연구 = (A)study on the structural properties of rf magnetron sputtered B$$a_{1-x}$$< / TEX>S$$r_x$$< / TEX>TiO₃ thin film
표제/저자사항 Rf magnetron sputtering 방법으로 제조된 B$$a_{1-x}$$< / TEX>S$$r_x$$< / TEX>TiO₃ 박막의 구조적 특성에 대한 연구 = (A)study on the structural properties of rf magnetron sputtered B$$a_{1-x}$$< / TEX>S$$r_x$$< / TEX>TiO₃ thin film / 김태송, 오명환, 김종희
형태사항 p. 441-448 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 窯業學會誌. 한국요업학회. 30권 6호(1993년 6월), p. 441-448 30:6<441 상세보기 ISSN 1225-1372
저자: 김태송, 한국과학기술원 무기재료공학과
저자: 오명환, 한국과학기술연구원 이공학연구단
저자: 김종희, 한국과학기술원 무기재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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