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Off-axis RF magnetron sputtering 방법에 의한 B
Off-axis RF magnetron sputtering 방법에 의한 B$$a_{0.5}$$< / TEX>S$$r_{0.5}$$< / TEX>TiO₃ 박막의 제조 = Preparation of B$$a_{0.5}$$< / TEX>S$$r_{0.5}$$< / TEX>TiO₃ thin films by Off-axis RF magnetron sputtering
표제/저자사항
Off-axis RF magnetron sputtering 방법에 의한 B$$a_{0.5}$$< / TEX>S$$r_{0.5}$$< / TEX>TiO₃ 박막의 제조 = Preparation of B$$a_{0.5}$$< / TEX>S$$r_{0.5}$$< / TEX>TiO₃ thin films by Off-axis RF magnetron sputtering / 신진, 한택상, 김영환, 이재준, 박순자, 오명환, 최상삼
형태사항
p. 1429-1436 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 窯業學會誌. 한국요업학회. 31권 12호(1994년 12월), p. 1429-1436 31:12<1429 상세보기 ISSN 1225-1372
저자: 신진, 현대전자산업(주) 반도체연구소 근무
저자: 한택상, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 김영환, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 이재준, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 박순자, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 오명환, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 최상삼, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 신진, 현대전자산업(주) 반도체연구소 근무
저자: 한택상, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 김영환, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 이재준, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 박순자, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 오명환, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
저자: 최상삼, 한국과학기술연구원 정보전자연구부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
