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기판 etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가 = Evaluation of elastic properties of DLC films using substrate etching techniques
표제/저자사항 기판 etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가 = Evaluation of elastic properties of DLC films using substrate etching techniques / 조성진, 이광렬, 은광용, 한준희, 고대홍
형태사항 p. 813-818 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 窯業學會誌. 한국요업학회. 35卷 8號(1998년 8월), p. 813-818 35:8<813 상세보기 ISSN 1225-1372
저자: 조성진, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 이광렬, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타
저자: 은광용, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타
저자: 한준희, 한국표준과학연구원 소재특성평가센타
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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