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급속열질화에 의한 고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 특성개선 = Improvement of thin oxide grown by high pressure oxidation using rapid thermal nitridation
표제/저자사항
급속열질화에 의한 고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 특성개선 = Improvement of thin oxide grown by high pressure oxidation using rapid thermal nitridation / 盧泰文, 李大雨, 宋潤鎬, 白圭夏, 具珍根, 李德東, 南基守
형태사항
p. 26-34 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. D. 大韓電子工學會. 제34권 8호(1997년 8월), p. 26-34 34:8<26 상세보기 ISSN 1226-5845
저자: 노태문, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 이대우, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 송윤호, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 백규하, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 구진근, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 이덕동, 정회원, 경북대학교 전자전기공학부
저자: 남기수, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 노태문, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 이대우, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 송윤호, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 백규하, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 구진근, 정회원, 한국전자통신연구원
저자: 이덕동, 정회원, 경북대학교 전자전기공학부
저자: 남기수, 정회원, 한국전자통신연구원
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
