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GSI소자 개발을 위한 극 저 에너지 이온 주입에 대한 분자 역학 시뮬레이션 = Molecular dynamics simulation of ultra-low energy ion implantation for GSI device technology development
표제/저자사항
GSI소자 개발을 위한 극 저 에너지 이온 주입에 대한 분자 역학 시뮬레이션 = Molecular dynamics simulation of ultra-low energy ion implantation for GSI device technology development / 姜正遠, 孫明植, 黃好正
형태사항
p. 18-27 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. D. 大韓電子工學會. 제35권 3호(1998년 3월), p. 18-27 35:3<18 상세보기 ISSN 1226-5845
저자: 강정원, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
저자: 강정원, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정소자 연구실
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
