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플라즈마 증착 형상 모의 실험기의 앞덮개 효과를 고려한 근사 해석적 모델에 관한 연구 = (A)study on the approximation analytical model of PECVD topography simulator considering the effect of the presheath
표제/저자사항
플라즈마 증착 형상 모의 실험기의 앞덮개 효과를 고려한 근사 해석적 모델에 관한 연구 = (A)study on the approximation analytical model of PECVD topography simulator considering the effect of the presheath / 李康煥, 孫明植, 黃好正
형태사항
p. 90-99 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. D. 大韓電子工學會. 제36권 1호(1999년 1월), p. 90-99 36:1<90 상세보기 ISSN 1226-5845
저자: 이강환, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 이강환, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
