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반도체 제조공정용 탄화규소 부품 / 소재 기술
표제/저자사항 반도체 제조공정용 탄화규소 부품 / 소재 기술 / 박상환, 이동윤, 한재호, 윤성호, 조경선
형태사항 p. 38-53 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 세라미스트. 한국세라믹학회. 10권 4호(2007년 8월), p. 38-53 10:4<38 상세보기 ISSN 1226-976X
저자: 박상환, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부 E-MAIL: spark@kist.re.kr
저자: 이동윤, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부
저자: 한재호, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부
저자: 윤성호, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부
저자: 조경선, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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