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실리콘 산화물 박막의 원자층 증착 기술
표제/저자사항 실리콘 산화물 박막의 원자층 증착 기술 / 이원준
형태사항 p. 15-22 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 세라미스트. 한국세라믹학회. 9권 4호(2006년 8월), p. 15-22 9:4<15 상세보기 ISSN 1226-976X
저자: 이원준, 세종대학교 나노신소재공학부 E-MAIL: wjlee@sejong.ac.kr
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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