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클린룸 환경에서 가열되는 회전 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석 = Numerical analysis on particle deposition onto a heated rotating semiconductor wafer in clean room environment
표제/저자사항
클린룸 환경에서 가열되는 회전 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석 = Numerical analysis on particle deposition onto a heated rotating semiconductor wafer in clean room environment / 송근수, 유경훈, 이건형
형태사항
p. 170-179 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국실내환경학회지. 한국실내환경학회. 3권 2호(2006년 6월), p. 170-179 3:2<170 상세보기 ISSN 1738-4125
저자: 송근수, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제어연구실
저자: 유경훈, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제어연구실 E-MAIL: khyoo@kitech.re.kr
저자: 이건형, 삼성전자(주) 반도체총괄 기술센터
저자: 송근수, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제어연구실
저자: 유경훈, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제어연구실 E-MAIL: khyoo@kitech.re.kr
저자: 이건형, 삼성전자(주) 반도체총괄 기술센터
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
