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반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구 = (A)study on ammonia removal performance improvement of an air washer for semiconductor manufacturing clean rooms
표제/저자사항 반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구 = (A)study on ammonia removal performance improvement of an air washer for semiconductor manufacturing clean rooms / 송근수, 유경훈, 손승우
형태사항 p. 151-157 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국실내환경학회지. 한국실내환경학회. 5권 2호(2008년 6월), p. 151-157 5:2<151 상세보기 ISSN 1738-4125
저자: 송근수, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제거 연구실
저자: 유경훈, 한국생산기술연구원 에어로졸·오염제거 연구실 E-MAIL: khyoo@kitech.re.kr
저자: 손승우, (주)성림피에스
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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