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반도체 소자 제작을 위한 진공 박막증착 공정
표제/저자사항
반도체 소자 제작을 위한 진공 박막증착 공정 / 채희엽, 김우재 공저
발행사항
서울 : 웅보출판사, 2015
형태사항
117 p. : 삽화, 도표 ; 26 cm
주기사항
2012년도 산업통상자원부의 재원으로 한국에너지기술평가원(KETEP)의 지원을 받아 수행한 연구과제임
표준번호/부호
ISBN 9788984624214 93570: \16000
분류기호
한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명
반도체 소자[半導體素子] 진공 공학[眞空工學]
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
