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실리콘 웨이퍼 切斷工程에서 發生하는 실리콘 카바이드 슬러지로부터 鐵, 실리콘 除去 = Removal of Fe, Si from silicon carbide sludge generated in the silicon wafer cutting process
표제/저자사항 실리콘 웨이퍼 切斷工程에서 發生하는 실리콘 카바이드 슬러지로부터 鐵, 실리콘 除去 = Removal of Fe, Si from silicon carbide sludge generated in the silicon wafer cutting process / 朴會景, 高鳳煥, 朴均榮, 姜泰遠, 張喜棟
형태사항 p. 22-28 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 資源리싸이클링. 한국자원리싸이클링학회. 22권 2호(2013년 4월), p. 22-28 22:2<22 상세보기 ISSN 1225-8326
저자: 박회경, 공주대학교 화학공학부
저자: 고봉환, 공주대학교 화학공학부
저자: 박균영, 공주대학교 화학공학부 E-MAIL: kypark@kongju.ac.kr
저자: 강태원, 공주대학교 화학공학부
저자: 장희동, 한국지질자원연구원 희유자원연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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