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Evaluation of point-of-use (POU) filters performance in chemical mechanical polishing slurry supply system = 슬러리 공급 시스템을 이용한 화학적 기계적 연마 공정에서의 POU 필터의 성능 평가
표제/저자사항
Evaluation of point-of-use (POU) filters performance in chemical mechanical polishing slurry supply system = 슬러리 공급 시스템을 이용한 화학적 기계적 연마 공정에서의 POU 필터의 성능 평가 / Sunjae Jang, Hojoong Kim, Hongi Jin, Miyeon Nam, Atul Kulkarni, Taesung Kim
형태사항
p. 261-269 ; 26 cm
주기사항
수록자료: Particle and aerosol research. 한국입자에어로졸학회. 제9권 4호(2013년 12월), p. 261-269 9:4<261 상세보기 ISSN 1738-8716
저자: Sunjae Jang, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University
저자: Hojoong Kim, CMP Technology and Cleaning Team, SAMSUNG Electronics
저자: Hongi Jin, SKKU Advanced Institute of Nanotechnology(SAINT), Sungkyunkwan University
저자: Miyeon Nam, R&D institute, Woongjin chemical co., Ltd.
저자: Atul Kulkarni, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University ; Anti‐aging Research Institute of BIO‐FD&C Co. Ltd
저자: Taesung Kim, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University ; SKKU Advanced Institute of Nanotechnology(SAINT), Sungkyunkwan University E-MAIL: tkim@skku.edu
저자: Sunjae Jang, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University
저자: Hojoong Kim, CMP Technology and Cleaning Team, SAMSUNG Electronics
저자: Hongi Jin, SKKU Advanced Institute of Nanotechnology(SAINT), Sungkyunkwan University
저자: Miyeon Nam, R&D institute, Woongjin chemical co., Ltd.
저자: Atul Kulkarni, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University ; Anti‐aging Research Institute of BIO‐FD&C Co. Ltd
저자: Taesung Kim, School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University ; SKKU Advanced Institute of Nanotechnology(SAINT), Sungkyunkwan University E-MAIL: tkim@skku.edu
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
