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피로인산구리용액으로부터 전기도금 된 Cu 필름의 특성에 미치는 도금조건의 영향 = Effect of deposition conditions on properties of Cu thin films electrodeposited from pyrophosphate baths
표제/저자사항 피로인산구리용액으로부터 전기도금 된 Cu 필름의 특성에 미치는 도금조건의 영향 = Effect of deposition conditions on properties of Cu thin films electrodeposited from pyrophosphate baths / 신동율, 심철용, 구본급, 박덕용
형태사항 p. 19-29 ; 29 cm
주기사항 수록자료: 전기화학회지. 한국전기화학회. Vol.16 No.1(2013년 2월), p. 19-29 16:1<19 상세보기 ISSN 1229-1935 161797708
저자: 신동율, ㈜심텍
저자: 심철용, 한밭대학교 신소재공학과
저자: 구본급, 한밭대학교 신소재공학과
저자: 박덕용, 한밭대학교 신소재공학과 E-MAIL: dypark@hanbat.ac.kr
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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