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이종 타겟을 지닌 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구 = Electrical and optical properties of AZO thin films fabricated by using a facing-target sputtering system with hetero-targets
표제/저자사항
이종 타겟을 지닌 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구 = Electrical and optical properties of AZO thin films fabricated by using a facing-target sputtering system with hetero-targets / 야오리타오, 서성보, 배강, 김동영, 최명규, 손선영, 김화민, 김종재
형태사항
p. 246-251 ; 29 cm
주기사항
수록자료: 새물리. 한국물리학회. 64권 3호(2014년 3월), p. 246-251 64:3<246 상세보기 ISSN 0374-4914
저자: 야오리타오, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과 E-MAIL: litao@cu.ac.kr
저자: 서성보, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 배강, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김동영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 최명규, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 손선영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김화민, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김종재, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 야오리타오, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과 E-MAIL: litao@cu.ac.kr
저자: 서성보, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 배강, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김동영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 최명규, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 손선영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김화민, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김종재, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)