기사
이종 타겟을 지닌 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구 = Electrical and optical properties of AZO thin films fabricated by using a facing-target sputtering system with hetero-targets
표제/저자사항 이종 타겟을 지닌 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구 = Electrical and optical properties of AZO thin films fabricated by using a facing-target sputtering system with hetero-targets / 야오리타오, 서성보, 배강, 김동영, 최명규, 손선영, 김화민, 김종재
형태사항 p. 246-251 ; 29 cm
주기사항 수록자료: 새물리. 한국물리학회. 64권 3호(2014년 3월), p. 246-251 64:3<246 상세보기 ISSN 0374-4914
저자: 야오리타오, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과 E-MAIL: litao@cu.ac.kr
저자: 서성보, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 배강, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김동영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 최명규, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 손선영, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김화민, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
저자: 김종재, 대구가톨릭대학교 대학원 전자디스플레이공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로