학위논문
Influence of pulsed substrate bias voltage on the properties of sputtered thin films = RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 제조 시 기판상에 pulsed DC 바이어스 전압의 인가 영향
표제/저자사항 Influence of pulsed substrate bias voltage on the properties of sputtered thin films = RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 제조 시 기판상에 pulsed DC 바이어스 전압의 인가 영향 / Hye Won Seok
발행사항 Seoul : Korea University, 2015
형태사항 xi, 113 leaves : illustrations ; 26 cm
주기사항 Adviser: Byeong-Kwon Ju
Thesis(Ph.D.) -- Graduate School, Korea University, Department of Electrical Engineering, 2015
Bibliography: leaves 92-98
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 569.43듀이십진분류법-> 621.381528
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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