일반도서
반도체 공정기술
표제/저자사항 반도체 공정기술 / 황호정 저
판사항 개정판
발행사항 서울: 생능출판사, 2003
형태사항 xvi, 638p.: 삽도; 27cm
주기사항 권말부록으로 '보오차 함수'등 수록
참고문헌: p.563-600, 색인수록
표준번호/부호 ISBN 8970503706 93560: \29000
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명 반도체[半導體]    공정 기술[工程技術]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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