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초미세 공정 및 장비기술 : 국내외 기술동향 및 주요국의 성장 잠재력과 시장규모 예측
표제/저자사항 초미세 공정 및 장비기술 : 국내외 기술동향 및 주요국의 성장 잠재력과 시장규모 예측 / 장태종; 김기일; 박현우 [공저]
발행사항 서울: 한국과학기술정보연구원, 2004
형태사항 iii, 48p.: 삽도; 23cm
총서사항 (2004년 차세대 유망아이템분석; BA165)
주기사항 참고문헌: p.47-48
표준번호/부호 ISBN 8958840285 93550
분류기호 한국십진분류법-> 530듀이십진분류법-> 620.5
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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