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펄스스퍼터증착법으로 성장한 AlN 박막의 열처리에 따른 결정성 변화에 관한 고찰 = Study on the crystallinity change caused by heat treatment of AlN thin films grown by using pulsed sputter deposition
표제/저자사항
펄스스퍼터증착법으로 성장한 AlN 박막의 열처리에 따른 결정성 변화에 관한 고찰 = Study on the crystallinity change caused by heat treatment of AlN thin films grown by using pulsed sputter deposition / 최준석, 고동완, 조성민, 이상태, 장지호
형태사항
p. 20-24 ; 29cm
주기사항
영어 요약 있음
수록자료: 새물리. 한국물리학회. 68권 1호(2018년 1월), p. 20-24 68:1<20 상세보기 ISSN 0374-4914
저자: 최준석, 한국해양대학교 전자소재공학전공
저자: 고동완, 한국해양대학교 전자소재공학전공
저자: 조성민, 한국해양대학교 해양과학기술융합학과
저자: 이상태, 한국해양대학교 해양플랜트운영학과
저자: 장지호, 한국해양대학교 전자소재공학전공 ; 한국해양대학교 해양과학기술융합학과
수록자료: 새물리. 한국물리학회. 68권 1호(2018년 1월), p. 20-24 68:1<20 상세보기 ISSN 0374-4914
저자: 최준석, 한국해양대학교 전자소재공학전공
저자: 고동완, 한국해양대학교 전자소재공학전공
저자: 조성민, 한국해양대학교 해양과학기술융합학과
저자: 이상태, 한국해양대학교 해양플랜트운영학과
저자: 장지호, 한국해양대학교 전자소재공학전공 ; 한국해양대학교 해양과학기술융합학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
