학위논문
개량된 활성화 반응성 증착법에 의한 타이타늄 질화물 증착중 플라즈마내의 전자의 온도와 밀도가 박막의 구조와 전기저항에 미치는 영향
표제/저자사항 개량된 활성화 반응성 증착법에 의한 타이타늄 질화물 증착중 플라즈마내의 전자의 온도와 밀도가 박막의 구조와 전기저항에 미치는 영향 / 朱廷焄
발행사항 서울: 서울大學校, 1987
형태사항 ii,42p.: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(석사) -- 서울大學校 大學院: 金屬工學科, 1987
분류기호 한국십진분류법-> 559.7932듀이십진분류법-> 669.96732
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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