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학위논문
太陽電池 및 MEMS 素子로의 應用을 위한 RF PECVD 方法으로 合成시킨 DLC 薄膜에 關한 硏究 = (A)study on DLC thin film synthesized by RF plasma-enhanced chemical vapor deposition method for the application to solar cells and MEMS devices
표제/저자사항
太陽電池 및 MEMS 素子로의 應用을 위한 RF PECVD 方法으로 合成시킨 DLC 薄膜에 關한 硏究 = (A)study on DLC thin film synthesized by RF plasma-enhanced chemical vapor deposition method for the application to solar cells and MEMS devices / 崔源錫
발행사항
서울: 成均館大學校, 2006
형태사항
viii, 140 p.: 삽화, 도표; 26 cm
주기사항
학위논문(박사) -- 成均館大學校 大學院, 電氣電子 및 컴퓨터工學科 電氣電子 및 컴퓨터工學專攻, 2006
참고문헌: p. 131-138
참고문헌: p. 131-138
분류기호
한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명
박막[薄膜]
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
