학위논문
直交電磁界下의 放電 플라즈마에 의한 窒化 티타늄의 形成과 그 電氣的 特性에 관한 硏究 = (A)study on TiN deposition in the discharge plasma under electric cross magnetic field and its electrical characterisics
표제/저자사항 直交電磁界下의 放電 플라즈마에 의한 窒化 티타늄의 形成과 그 電氣的 特性에 관한 硏究 = (A)study on TiN deposition in the discharge plasma under electric cross magnetic field and its electrical characterisics / 金光和
발행사항 부산: 釜山大學校, 1992
형태사항 iii,134장: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 釜山大學校 大學院: 電氣工學科, 1992
분류기호 한국십진분류법-> 561.84듀이십진분류법-> 621.38152
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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