학위논문
The study of EUV ptychography microscope for optical investigation of EUV materials = 극자외선 재료의 광학적 특성 분석을 위한 극자외선 타이코그라피 현미경 연구
표제/저자사항 The study of EUV ptychography microscope for optical investigation of EUV materials = 극자외선 재료의 광학적 특성 분석을 위한 극자외선 타이코그라피 현미경 연구 / Dong Gon Woo
발행사항 Seoul : Hanyang University, 2020
형태사항 ix, 103 leaves : illustrations ; 26 cm
주기사항 Adviser: Jinho Ahn
Thesis(Ph.D.) -- Graduate School of Hanyang University, Department of Materials Science and Engineering, 2020
Includes bibliography
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 530.4듀이십진분류법-> 620.11
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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