학위논문
N₂O 가스 內에서 熱酸化한 Oxynitride膜의 特性 = Properties of oxynitride films by thermal oxidation in N₂O gas
표제/저자사항 N₂O 가스 內에서 熱酸化한 Oxynitride膜의 特性 = Properties of oxynitride films by thermal oxidation in N₂O gas / 金昌日
발행사항 서울: 中央大學校, 1993
형태사항 xi,96장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 중앙대학교 대학원: 전기공학과 전기재료전공, 1993
분류기호 한국십진분류법-> 561.84듀이십진분류법-> 621.38028
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로