학위논문
Hybrid slurry supply system using ionization and atomization for sustainable CMP = 지속 가능한 CMP를 위한 분무 및 이온화 기능을 갖춘 하이브리드 슬러리 공급시스템
표제/저자사항 Hybrid slurry supply system using ionization and atomization for sustainable CMP = 지속 가능한 CMP를 위한 분무 및 이온화 기능을 갖춘 하이브리드 슬러리 공급시스템 / Lee, Dasol
발행사항 Busan : Pusan National University, 2020
형태사항 XI, 197 pages : illustrations ; 30 cm
주기사항 Adviser: Jeong Haedo
Thesis(Ph.D.) -- Graduate School, Pusan National University, School of Mechanical Engineering, 2020
Includes bibliographies
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 550듀이십진분류법-> 621.8
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로