학위논문
플라즈마 화학 증착법으로 형성한 W / Si 및 W / GaAs의 급속 열처리 효과 = Rapid thermal annealing effects of the W / Si and W / GaAs by plasma enhanced chemical vapor deposition method
표제/저자사항 플라즈마 화학 증착법으로 형성한 W / Si 및 W / GaAs의 급속 열처리 효과 = Rapid thermal annealing effects of the W / Si and W / GaAs by plasma enhanced chemical vapor deposition method / 홍종성
발행사항 서울: 동국대학교, 1993
형태사항 xi,157p.: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 동국대학교 대학원: Dept. of Physics, 1993
분류기호 한국십진분류법-> 530.43듀이십진분류법-> 620.18934
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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