일반도서
반도체 장비 실습
표제/저자사항 반도체 장비 실습 / 지은이: 이제원
발행사항 김해 : 인제대학교 출판부, 2019
형태사항 299 p. : 삽화, 도표 ; 25 cm
주기사항 권말부록: 공정에 많이 쓰이는 화학약품의 성질 등
참고문헌 수록
인제대학교 PRIME사업 사업비를 지원받아 작성됨
표준번호/부호 ISBN 9788966200986 13550: \9000
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명 반도체[半導體]    장비(기계)[裝備]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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