학위논문
광학 스텝퍼의 이중노광에 의한 Sub-half 미크론 자기정렬게이트 GaAs MESFET = (A)study on the sub-half micrometer self-aligned gate GaAs MESFET using the double exposure of optical wafer stepper
표제/저자사항 광학 스텝퍼의 이중노광에 의한 Sub-half 미크론 자기정렬게이트 GaAs MESFET = (A)study on the sub-half micrometer self-aligned gate GaAs MESFET using the double exposure of optical wafer stepper / 양전욱
발행사항 서울: 연세대학교, 1994
형태사항 ix,100장: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 연세대학교 대학원: 전자공학과, 1994
분류기호 한국십진분류법-> 569.8듀이십진분류법-> 621.38171
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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