학위논문
단결정 실리콘(100)에서 저 에너지 Boron 이온 주입을 위한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션
표제/저자사항 단결정 실리콘(100)에서 저 에너지 Boron 이온 주입을 위한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 / 孫明植
발행사항 서울: 中央大學校, 1995
형태사항 viii,67장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(석사) -- 중앙대학교 대학원: 전자공학과 반도체공학전공, 1995
분류기호 한국십진분류법-> 569.8듀이십진분류법-> 621.38173
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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