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학위논문
Physical properties and thermal stabilities of tungsten nitride diffusion barrier produced by plasma enhanced chemical vapor deposition = 플라즈마 화학 증착된 질화 텅스텐 확산 방지막의 물리적 특성 및 열 적 안정성
표제/저자사항
Physical properties and thermal stabilities of tungsten nitride diffusion barrier produced by plasma enhanced chemical vapor deposition = 플라즈마 화학 증착된 질화 텅스텐 확산 방지막의 물리적 특성 및 열 적 안정성 / Chang Woo Lee
발행사항
대전: Korea Advanced Institute of Science and Technology, 1994
형태사항
iv,151 p,: ill., plates; 26cm
주기사항
학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 물리학과, 1994
분류기호
한국십진분류법-> 427.62듀이십진분류법-> 537.622
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
